與功能僅限于打開和關(guān)閉的真空隔離閥不同，真空控制閥可以控制體積流量。 這通常通過縮小或加寬閥門通道實現(xiàn)的。 控制范圍因調(diào)節(jié)閥的設(shè)計原理而異。 這也稱為可用電導(dǎo)譜。 具有非常大電導(dǎo)譜的閥門通常比具有小電導(dǎo)譜的閥門允許更精細(xì)的體積控制。 然而，設(shè)計原理和驅(qū)動類型對于閥門控制的精細(xì)度和精度也具有決定性作用。 真空控制閥主要是電驅(qū)動的，因為電驅(qū)動通常允許閥板非常精細(xì)和快速的位置變化。 兩者對于精確控制都至關(guān)重要。 然而，除了電動控制閥外，還有氣動解決方案，例如，移動到機械預(yù)定義的控制位置或手動解決方案。 真空控制閥也可作為無隔離功能的純控制閥使用，即它們從不密封并始終允許最小的殘余體積流量，或者作為控制和隔離閥也可以中斷體積流量。

真空控制閥有多種不同的設(shè)計，因為真空系統(tǒng)的控制要求千差萬別。 因此，在選擇真空控制閥時，以下標(biāo)準(zhǔn)是決定性的：

1）閥門所要控制的最大壓差水平。如果它還具有隔離功能，就不一定是閥門關(guān)閉時能承受的最大壓差。
2）所要求的電導(dǎo)率譜的大小和其控制范圍。
3）流速的大小
4）進行體積流量變化的速度
5）對體積流中的副產(chǎn)品或一般的侵蝕性介質(zhì)的抵抗力。
6）對流量變化的敏感性，如控制過程引起的湍流。
7）對可能通過閥門排放的顆粒的敏感性。
8）閥門使用的環(huán)境溫度和控制的環(huán)境溫度。
9）可控性的類型為線性流量變化或動態(tài)變化，在所謂的控制曲線中，控制速度可以獨立于閥板的位置而控制。