vatvalve小型超高真空閘閥01024-KE01 適用于要求苛刻的應(yīng)用的通用隔離閥
vatvalve高壓快速關(guān)閉閥 25740-QE99 對(duì)于有腐蝕性工藝氣體的應(yīng)用，可以使用全氟橡膠密封件。
vatvalve高壓快速關(guān)閉閥25740-QE99 25.7 高真空快速切斷閥受流量控制。沒有任何子系統(tǒng)（傳感器和驅(qū)動(dòng)器）的直接操作設(shè)計(jì)可提供高速隔離功能，并且復(fù)雜性和故障風(fēng)險(xiǎn)均較低。
瑞士vatvalve角控制閥 62034-KAGX-0001 帶有閉環(huán)控制步進(jìn)電機(jī)的線性驅(qū)動(dòng)器
62.0 角控制閥可提供非常精確的壓力控制性能。得益于其電動(dòng)線性驅(qū)動(dòng)器，該系列閥門能夠以最小流導(dǎo)通過順暢且精細(xì)的控制循環(huán)地打開和關(guān)閉。集成式軟抽控制功能通過避免與大多數(shù)傳統(tǒng)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器相關(guān)的壓力峰值來增強(qiáng)這一點(diǎn)。
vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAH-0001 快速且精準(zhǔn)的壓力控制
瑞士vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAF-0001 快速且精準(zhǔn)的壓力控制
vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAE-0001 61.3 蝶形控制閥可提供出色的壓力控制性能。憑借其快速且精準(zhǔn)的作用動(dòng)作控制器（0.1 秒），61.3 蝶形控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細(xì)控制的理想解決方案。
瑞士vatvalve高真空蝶形控制和隔離閥 61632-KEGQ-0001/2063 快速且精準(zhǔn)的壓力控制和隔離
